পরিচ্ছন্ন ঘরে বায়ু প্রবাহ সংস্থার প্রভাবকারী কারণগুলি কী কী?

চিপ উত্পাদন শিল্পে চিপের ফলন চিপে জমা হওয়া বায়ু কণার আকার এবং সংখ্যার সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সম্পর্কিত।ভাল বায়ু প্রবাহ সংগঠন পরিষ্কার ঘর থেকে দূরে ধূলিকণা উৎস থেকে উত্পন্ন কণা নিতে পারে এবং পরিষ্কার ঘরের পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করতে পারে।অর্থাৎ, ক্লিনরুমে বায়ু প্রবাহ সংগঠন চিপ উৎপাদনের ফলনে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।পরিচ্ছন্ন কক্ষের বায়ু প্রবাহ সংস্থার নকশায় যে লক্ষ্যগুলি অর্জন করতে হবে তা হল: ক্ষতিকারক কণা ধারণ এড়াতে প্রবাহ ক্ষেত্রে এডি স্রোত হ্রাস করা বা নির্মূল করা;ক্রস-দূষণ প্রতিরোধ করার জন্য একটি উপযুক্ত ইতিবাচক চাপ গ্রেডিয়েন্ট বজায় রাখা।

ক্লিন রুম নীতি অনুসারে, কণার উপর কাজ করে এমন শক্তিগুলির মধ্যে রয়েছে ভর বল, আণবিক বল, কণার মধ্যে আকর্ষণ, বায়ু প্রবাহ বল ইত্যাদি।

বায়ুপ্রবাহ বল: সরবরাহ এবং ফেরত বায়ুপ্রবাহ, তাপ পরিবাহী বায়ুপ্রবাহ, কৃত্রিম আন্দোলন, এবং কণা বহন করার জন্য একটি নির্দিষ্ট প্রবাহ হার সহ অন্যান্য বায়ুপ্রবাহ দ্বারা সৃষ্ট বায়ুপ্রবাহের বলকে বোঝায়।পরিচ্ছন্ন রুম পরিবেশগত প্রযুক্তি নিয়ন্ত্রণের জন্য, বায়ু প্রবাহ শক্তি সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ ফ্যাক্টর।

পরীক্ষায় দেখা গেছে যে বায়ুপ্রবাহের গতিবিধিতে, কণাগুলি প্রায় একই গতিতে বায়ুপ্রবাহকে অনুসরণ করে।বায়ুতে কণার অবস্থা বায়ুপ্রবাহ বিতরণ দ্বারা নির্ধারিত হয়।গৃহমধ্যস্থ কণাগুলির উপর বায়ুপ্রবাহের প্রধান প্রভাবগুলির মধ্যে রয়েছে: বায়ু সরবরাহ বায়ুপ্রবাহ (প্রাথমিক বায়ুপ্রবাহ এবং মাধ্যমিক বায়ুপ্রবাহ সহ), মানুষের হাঁটার কারণে বায়ুপ্রবাহ এবং তাপ পরিবাহী বায়ুপ্রবাহ এবং প্রক্রিয়া ক্রিয়াকলাপ এবং শিল্প সরঞ্জাম দ্বারা সৃষ্ট কণাগুলির উপর বায়ুপ্রবাহের প্রভাব।পরিষ্কারকক্ষে বিভিন্ন বায়ু সরবরাহের পদ্ধতি, গতির ইন্টারফেস, অপারেটর এবং শিল্প সরঞ্জাম, প্ররোচিত ঘটনা, ইত্যাদি সমস্ত কারণ যা পরিচ্ছন্নতার স্তরকে প্রভাবিত করে।

1. বায়ু সরবরাহ পদ্ধতির প্রভাব

(1) বায়ু সরবরাহের গতি

অভিন্ন বায়ু প্রবাহ নিশ্চিত করার জন্য, একমুখী প্রবাহ পরিষ্কার ঘরে বায়ু সরবরাহের গতি অভিন্ন হতে হবে;বায়ু সরবরাহ পৃষ্ঠের মৃত অঞ্চল ছোট হতে হবে;এবং হেপা ফিল্টারের মধ্যে চাপ ড্রপটিও অভিন্ন হতে হবে।

বায়ু সরবরাহের গতি অভিন্ন: অর্থাৎ, বায়ু প্রবাহের অসমতা ±20% এর মধ্যে নিয়ন্ত্রিত হয়।

বায়ু সরবরাহের পৃষ্ঠে কম মৃত স্থান রয়েছে: কেবল হেপা ফ্রেমের সমতল ক্ষেত্রটি কমানো উচিত নয়, তবে আরও গুরুত্বপূর্ণভাবে, অপ্রয়োজনীয় ফ্রেমটিকে সরল করতে মডুলার এফএফইউ ব্যবহার করা উচিত।

বায়ু প্রবাহ উল্লম্ব এবং একমুখী হয় তা নিশ্চিত করার জন্য, ফিল্টারের চাপ ড্রপ নির্বাচনও খুব গুরুত্বপূর্ণ, এবং এটি প্রয়োজনীয় যে ফিল্টারের মধ্যে চাপ হ্রাস পক্ষপাতমূলক করা যাবে না।

(2) FFU সিস্টেম এবং অক্ষীয় প্রবাহ ফ্যান সিস্টেমের মধ্যে তুলনা

এফএফইউ একটি ফ্যান এবং হেপা ফিল্টার সহ একটি বায়ু সরবরাহ ইউনিট।এফএফইউ-এর সেন্ট্রিফিউগাল ফ্যান দ্বারা বাতাস চুষে নেওয়া হয় এবং বায়ু নালীতে গতিশীল চাপকে স্থির চাপে রূপান্তরিত করে।এটি হেপা ফিল্টার দ্বারা সমানভাবে প্রস্ফুটিত হয়।সিলিংয়ে বায়ু সরবরাহের চাপ নেতিবাচক চাপ।এইভাবে ফিল্টার প্রতিস্থাপন করার সময় পরিষ্কার ঘরে কোন ধুলো ফুটবে না।পরীক্ষায় দেখা গেছে যে FFU সিস্টেম বায়ু আউটলেট অভিন্নতা, বায়ু প্রবাহের সমান্তরালতা এবং বায়ুচলাচল দক্ষতা সূচকের ক্ষেত্রে অক্ষীয় প্রবাহ ফ্যান সিস্টেমের চেয়ে উচ্চতর।এর কারণ হল FFU সিস্টেমের বায়ু প্রবাহের সমান্তরালতা ভাল।এফএফইউ সিস্টেমের ব্যবহার পরিষ্কার ঘরে বায়ু প্রবাহের সংগঠনকে উন্নত করতে পারে।

(3) FFU এর নিজস্ব কাঠামোর প্রভাব

এফএফইউ মূলত ফ্যান, ফিল্টার, এয়ার ফ্লো গাইড এবং অন্যান্য উপাদান নিয়ে গঠিত।হেপা ফিল্টারটি ডিজাইনের প্রয়োজনীয় পরিচ্ছন্নতা অর্জনের জন্য পরিষ্কার ঘরের জন্য সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ গ্যারান্টি।ফিল্টারের উপাদান প্রবাহ ক্ষেত্রের অভিন্নতাকেও প্রভাবিত করবে।যখন ফিল্টার আউটলেটে একটি রুক্ষ ফিল্টার উপাদান বা একটি ফ্লো প্লেট যোগ করা হয়, তখন আউটলেট প্রবাহ ক্ষেত্রটি সহজেই অভিন্ন করা যায়।

2. বিভিন্ন পরিচ্ছন্নতার সাথে গতি ইন্টারফেসের প্রভাব

একই পরিচ্ছন্ন ঘরে, উল্লম্ব একমুখী প্রবাহ সহ কার্যক্ষম এলাকা এবং অ-কর্মক্ষম এলাকার মধ্যে, হেপা বক্সে বাতাসের গতির পার্থক্যের কারণে, ইন্টারফেসে একটি মিশ্র ঘূর্ণি প্রভাব দেখা দেবে এবং এই ইন্টারফেসটি একটি অশান্ত হয়ে উঠবে। বায়ুপ্রবাহ অঞ্চল।বায়ু অশান্তির তীব্রতা বিশেষভাবে শক্তিশালী, এবং কণাগুলি সরঞ্জাম মেশিনের পৃষ্ঠে প্রেরণ করা হতে পারে এবং সরঞ্জাম এবং ওয়েফারগুলিকে দূষিত করতে পারে।

3. কর্মী এবং সরঞ্জামের উপর প্রভাব

যখন পরিষ্কার ঘর খালি থাকে, তখন রুমের বায়ু প্রবাহের বৈশিষ্ট্যগুলি সাধারণত ডিজাইনের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।একবার যখন সরঞ্জামগুলি ক্লিনরুমে প্রবেশ করে, লোকেরা চলাচল করে এবং পণ্যগুলি পরিবহণ করা হয়, তখন বায়ু প্রবাহের সংস্থায় অনিবার্যভাবে বাধা রয়েছে, যেমন সরঞ্জামের মেশিন থেকে তীক্ষ্ণ বিন্দু বের হওয়া।কোণে বা প্রান্তে, গ্যাস একটি অশান্ত প্রবাহ এলাকা গঠনের জন্য বিমুখ হবে, এবং এলাকার তরল আগত গ্যাস দ্বারা সহজে বহন করা হবে না, এইভাবে দূষণ ঘটাবে।

একই সময়ে, ক্রমাগত ক্রিয়াকলাপের কারণে যান্ত্রিক সরঞ্জামগুলির পৃষ্ঠটি উত্তপ্ত হবে এবং তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্ট মেশিনের কাছাকাছি একটি রিফ্লো এলাকা সৃষ্টি করবে, যা রিফ্লো এলাকায় কণার জমে থাকা বৃদ্ধি করে।একই সময়ে, উচ্চ তাপমাত্রা সহজেই কণাগুলিকে পালাতে পারে।দ্বৈত প্রভাব সামগ্রিক উল্লম্ব স্তরকে তীব্র করে তোলে।স্রোত পরিচ্ছন্নতা নিয়ন্ত্রণের অসুবিধা।পরিচ্ছন্ন কক্ষে অপারেটরদের ধুলো সহজেই এই রিফ্লো এলাকায় ওয়েফারগুলিকে মেনে চলতে পারে।

4. রিটার্ন এয়ার ফ্লোরের প্রভাব

যখন মেঝে দিয়ে যাওয়া রিটার্ন এয়ারের প্রতিরোধ ক্ষমতা ভিন্ন হয়, তখন চাপের পার্থক্য ঘটবে, যার ফলে বায়ু ছোট প্রতিরোধের দিকে প্রবাহিত হবে এবং অভিন্ন বায়ু প্রবাহ পাওয়া যাবে না।বর্তমান জনপ্রিয় নকশা পদ্ধতি একটি উন্নত তল ব্যবহার করা হয়.যখন এলিভেটেড ফ্লোরের খোলার অনুপাত 10% হয়, তখন বায়ু প্রবাহের বেগ অন্দর কাজের উচ্চতায় সমানভাবে বিতরণ করা যেতে পারে।এছাড়াও, মেঝেতে দূষণের উত্স কমাতে পরিষ্কারের কাজের প্রতি কঠোর মনোযোগ দেওয়া উচিত।

5. আনয়ন ঘটনা

তথাকথিত ইন্ডাকশন ঘটনাটি অভিন্ন প্রবাহের বিপরীত দিকে বায়ুপ্রবাহ তৈরির ঘটনাকে বোঝায়, ঘরে উত্পন্ন ধূলিকণা বা সংলগ্ন দূষিত অঞ্চলে ধূলিকণাকে আপওয়াইন্ড দিকে প্ররোচিত করে, যার ফলে ধুলো ওয়েফারকে দূষিত করে।সম্ভাব্য প্ররোচিত ঘটনাগুলির মধ্যে নিম্নলিখিতগুলি অন্তর্ভুক্ত রয়েছে:

(1) অন্ধ প্লেট

উল্লম্ব একমুখী প্রবাহ সহ একটি পরিষ্কার ঘরে, দেয়ালের জয়েন্টগুলির কারণে, সাধারণত বড় অন্ধ প্যানেল থাকে যা অশান্ত প্রবাহ এবং স্থানীয় ব্যাকফ্লো তৈরি করবে।

(2) প্রদীপ

পরিষ্কার কক্ষে আলোর ফিক্সচারগুলি আরও বেশি প্রভাব ফেলবে।যেহেতু ফ্লুরোসেন্ট ল্যাম্পের তাপের কারণে বায়ুপ্রবাহ বৃদ্ধি পায়, তাই ফ্লুরোসেন্ট বাতিটি উত্তাল এলাকায় পরিণত হবে না।সাধারনত, পরিচ্ছন্ন কক্ষের বাতিগুলিকে টিয়ারড্রপ আকারে ডিজাইন করা হয় যাতে বায়ুপ্রবাহ সংগঠনের উপর আলোর প্রভাব কম হয়।

(3) দেয়ালের মধ্যে ফাঁক

যখন বিভিন্ন পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা সহ পার্টিশনের দেয়াল বা সিলিংগুলির মধ্যে ফাঁক থাকে, কম পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা সহ এলাকার ধুলো উচ্চ পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তার সাথে সংলগ্ন এলাকায় স্থানান্তরিত হতে পারে।

(4) যান্ত্রিক সরঞ্জাম এবং মেঝে বা দেয়ালের মধ্যে দূরত্ব

যদি যান্ত্রিক সরঞ্জাম এবং মেঝে বা প্রাচীরের মধ্যে ফাঁক ছোট হয়, রিবাউন্ড টার্বুলেন্স ঘটবে।অতএব, সরঞ্জাম এবং প্রাচীর মধ্যে একটি ফাঁক ছেড়ে এবং মাটির সাথে সরাসরি যোগাযোগ এড়াতে মেশিন প্ল্যাটফর্ম বাড়ান।