ক্লিন রুমে বায়ু প্রবাহ সংস্থার প্রভাবশালী কারণগুলি কী কী?

চিপ উত্পাদন শিল্পে চিপ ফলন চিপে জমা হওয়া বায়ু কণার আকার এবং সংখ্যার সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সম্পর্কিত। ভাল এয়ার ফ্লো অর্গানাইজেশন ক্লিন রুম থেকে দূরে ধূলিকণা থেকে উত্পন্ন কণা নিতে পারে এবং ক্লিনরুমের পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করতে পারে। অর্থাৎ, ক্লিনরুমে এয়ার ফ্লো অর্গানাইজেশন চিপ উত্পাদনের ফলনে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। ক্লিন রুম এয়ার ফ্লো সংস্থার নকশায় অর্জন করা লক্ষ্যগুলি হ'ল: ক্ষতিকারক কণাগুলির ধরে রাখা এড়াতে প্রবাহ ক্ষেত্রের এডি স্রোতগুলি হ্রাস বা নির্মূল করা; ক্রস-দূষণ প্রতিরোধের জন্য উপযুক্ত ইতিবাচক চাপ গ্রেডিয়েন্ট বজায় রাখা।

ক্লিন রুমের নীতি অনুসারে, কণাগুলিতে অভিনয় করা বাহিনীর মধ্যে গণ শক্তি, আণবিক শক্তি, কণাগুলির মধ্যে আকর্ষণ, বায়ু প্রবাহ শক্তি ইত্যাদি অন্তর্ভুক্ত রয়েছে

এয়ারফ্লো ফোর্স: সরবরাহ এবং রিটার্ন এয়ারফ্লো, তাপীয় কনভেকশন এয়ারফ্লো, কৃত্রিম আন্দোলন এবং কণা বহন করার জন্য একটি নির্দিষ্ট প্রবাহের হারের সাথে অন্যান্য বায়ু প্রবাহের কারণে বায়ুপ্রবাহের বলকে বোঝায়। ক্লিন রুম পরিবেশগত প্রযুক্তি নিয়ন্ত্রণের জন্য, এয়ার ফ্লো ফোর্স সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ বিষয়।

পরীক্ষাগুলি দেখিয়েছে যে বায়ু প্রবাহের চলাচলে, কণাগুলি প্রায় একই গতিতে বায়ু প্রবাহকে অনুসরণ করে। বায়ুতে কণার অবস্থা বায়ু প্রবাহ বিতরণ দ্বারা নির্ধারিত হয়। ইনডোর কণাগুলিতে বায়ু প্রবাহের প্রধান প্রভাবগুলির মধ্যে রয়েছে: বায়ু সরবরাহের বায়ুপ্রবাহ (প্রাথমিক বায়ু প্রবাহ এবং মাধ্যমিক বায়ু প্রবাহ সহ), বায়ুপ্রবাহ এবং তাপীয় সংশ্লেষ বায়ু প্রবাহের ফলে লোকেরা হাঁটার কারণে সৃষ্ট এবং প্রক্রিয়া অপারেশন এবং শিল্প সরঞ্জাম দ্বারা সৃষ্ট কণায় বায়ু প্রবাহের প্রভাব। বিভিন্ন বায়ু সরবরাহের পদ্ধতি, স্পিড ইন্টারফেস, অপারেটর এবং শিল্প সরঞ্জাম, প্ররোচিত ঘটনা ইত্যাদি ক্লিনরুমগুলিতে সমস্ত কারণ যা পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতার স্তরকে প্রভাবিত করে।

1। বায়ু সরবরাহ পদ্ধতির প্রভাব

(1) বায়ু সরবরাহের গতি

অভিন্ন বায়ু প্রবাহ নিশ্চিত করার জন্য, একমুখী প্রবাহ ক্লিন রুমে বায়ু সরবরাহের গতি অবশ্যই অভিন্ন হতে হবে; বায়ু সরবরাহের পৃষ্ঠের ডেড জোনটি অবশ্যই ছোট হতে হবে; এবং এইচপিএ ফিল্টারের মধ্যে চাপ ড্রপটিও অভিন্ন হতে হবে।

বায়ু সরবরাহের গতি অভিন্ন: অর্থাৎ বায়ু প্রবাহের অসমতা 20%এর মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করা হয়।

বায়ু সরবরাহের পৃষ্ঠের উপর কম মৃত স্থান রয়েছে: কেবল এইচপিএ ফ্রেমের বিমানের অঞ্চলটি হ্রাস করা উচিত নয়, তবে আরও গুরুত্বপূর্ণ, মডিউলার এফএফইউ অপ্রয়োজনীয় ফ্রেমকে সহজ করার জন্য ব্যবহার করা উচিত।

বায়ু প্রবাহ উল্লম্ব এবং একমুখী কিনা তা নিশ্চিত করার জন্য, ফিল্টারটির চাপ ড্রপ নির্বাচনটিও খুব গুরুত্বপূর্ণ এবং এটি প্রয়োজন যে ফিল্টারের মধ্যে চাপ হ্রাস পক্ষপাতদুষ্ট করা যায় না।

(২) এফএফইউ সিস্টেম এবং অক্ষীয় প্রবাহ ফ্যান সিস্টেমের মধ্যে তুলনা

এফএফইউ একটি ফ্যান এবং হেপা ফিল্টার সহ একটি এয়ার সাপ্লাই ইউনিট। বায়ু এফএফইউর সেন্ট্রিফুগাল ফ্যান দ্বারা চুষে ফেলে এবং গতিশীল চাপকে বায়ু নালীতে স্থির চাপে রূপান্তরিত করে। এটি হেপা ফিল্টার দ্বারা সমানভাবে উড়িয়ে দেওয়া হয়। সিলিংয়ের উপর বায়ু সরবরাহের চাপ নেতিবাচক চাপ। ফিল্টারটি প্রতিস্থাপন করার সময় এইভাবে কোনও ধুলো পরিষ্কার ঘরে ফাঁস হবে না। পরীক্ষাগুলি দেখিয়েছে যে এফএফইউ সিস্টেমটি বায়ু আউটলেট অভিন্নতা, বায়ু প্রবাহ সমান্তরালতা এবং বায়ুচলাচল দক্ষতা সূচকের ক্ষেত্রে অক্ষীয় প্রবাহ ফ্যান সিস্টেমের চেয়ে উচ্চতর। এটি কারণ এফএফইউ সিস্টেমের বায়ু প্রবাহ সমান্তরালতা আরও ভাল। এফএফইউ সিস্টেমের ব্যবহার ক্লিন রুমে বায়ু প্রবাহের সংস্থাকে উন্নত করতে পারে।

(3) এফএফইউর নিজস্ব কাঠামোর প্রভাব

এফএফইউ মূলত ভক্ত, ফিল্টার, এয়ার ফ্লো গাইড এবং অন্যান্য উপাদানগুলির সমন্বয়ে গঠিত। ডিজাইনের দ্বারা প্রয়োজনীয় পরিষ্কার পরিচ্ছন্নতা অর্জনের জন্য ক্লিন রুমের জন্য হেপা ফিল্টারটি সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ গ্যারান্টি। ফিল্টারটির উপাদানগুলি প্রবাহ ক্ষেত্রের অভিন্নতার উপরও প্রভাব ফেলবে। ফিল্টার আউটলেটে যখন কোনও রুক্ষ ফিল্টার উপাদান বা একটি ফ্লো প্লেট যুক্ত করা হয়, তখন আউটলেট প্রবাহ ক্ষেত্রটি সহজেই অভিন্ন করা যায়।

2। বিভিন্ন পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতার সাথে স্পিড ইন্টারফেসের প্রভাব

একই ক্লিন রুমে, ওয়ার্কিং এরিয়া এবং উল্লম্ব একমুখী প্রবাহের সাথে অ-কার্যকারী অঞ্চলের মধ্যে, হেপা বাক্সে বায়ু গতির পার্থক্যের কারণে, একটি মিশ্র ঘূর্ণি প্রভাব ইন্টারফেসে ঘটবে এবং এই ইন্টারফেসটি একটি অশান্ত হয়ে উঠবে এয়ারফ্লো জোন। বায়ু অশান্তির তীব্রতা বিশেষত শক্তিশালী এবং কণাগুলি সরঞ্জাম মেশিনের পৃষ্ঠে সংক্রমণ হতে পারে এবং সরঞ্জাম এবং ওয়েফারগুলিকে দূষিত করতে পারে।

3। কর্মী এবং সরঞ্জামের উপর প্রভাব

যখন ক্লিন রুমটি খালি থাকে, ঘরে বায়ু প্রবাহের বৈশিষ্ট্যগুলি সাধারণত নকশার প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করে। একবার সরঞ্জামগুলি ক্লিনরুমে প্রবেশ করলে, লোকেরা সরে যায় এবং পণ্যগুলি পরিবহন করা হয়, এয়ার ফ্লো সংস্থায় অনিবার্যভাবে বাধা রয়েছে, যেমন সরঞ্জাম মেশিন থেকে প্রসারিত তীক্ষ্ণ পয়েন্ট। কোণ বা প্রান্তগুলিতে, গ্যাসটি একটি অশান্ত প্রবাহের অঞ্চল গঠনে ডাইভার্ট করবে এবং এই অঞ্চলে তরলটি আগত গ্যাসের দ্বারা সহজেই বহন করা হবে না, ফলে দূষণ সৃষ্টি হয়।

একই সময়ে, ক্রমাগত অপারেশনের কারণে যান্ত্রিক সরঞ্জামগুলির পৃষ্ঠটি উত্তপ্ত হবে এবং তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্টটি মেশিনের নিকটে একটি রিফ্লো অঞ্চল সৃষ্টি করবে, যা রিফ্লো অঞ্চলে কণা জমে বৃদ্ধি করে। একই সময়ে, উচ্চ তাপমাত্রা সহজেই কণাগুলি পালাতে পারে। দ্বৈত প্রভাব সামগ্রিক উল্লম্ব স্তরকে তীব্র করে তোলে। স্ট্রিম পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা নিয়ন্ত্রণে অসুবিধা। ক্লিন রুমে অপারেটরদের ধুলা সহজেই এই রিফ্লো অঞ্চলে ওয়েফারগুলিকে মেনে চলতে পারে।

4 .. রিটার্ন এয়ার ফ্লোরের প্রভাব

যখন মেঝে দিয়ে যাওয়া রিটার্ন বায়ুর প্রতিরোধের আলাদা হয়, তখন চাপের পার্থক্য দেখা দেয়, যার ফলে বায়ু ছোট প্রতিরোধের দিকে প্রবাহিত হয় এবং অভিন্ন বায়ু প্রবাহ পাওয়া যায় না। বর্তমান জনপ্রিয় নকশা পদ্ধতিটি একটি এলিভেটেড ফ্লোর ব্যবহার করা। যখন এলিভেটেড ফ্লোরের খোলার অনুপাত 10%এ থাকে, তখন বায়ু প্রবাহের বেগটি অভ্যন্তরীণ কাজের উচ্চতায় সমানভাবে বিতরণ করা যেতে পারে। তদতিরিক্ত, মেঝেতে দূষণের উত্স হ্রাস করার জন্য পরিষ্কার করার কাজগুলিতে কঠোর মনোযোগ দেওয়া উচিত।

5। আনয়ন ঘটনা

তথাকথিত ইন্ডাকশন ঘটনাটি অভিন্ন প্রবাহের বিপরীত দিকে বায়ুপ্রবাহ উত্পন্ন করার ঘটনাটিকে বোঝায়, উপবৃত্তাকার পাশের সংলগ্ন দূষিত অঞ্চলে ঘর বা ধূলিকণায় উত্পন্ন ধুলা প্ররোচিত করে, যার ফলে ধুলা ওয়েফারকে দূষিত করে তোলে। সম্ভাব্য প্ররোচিত ঘটনাগুলি নিম্নলিখিতগুলি অন্তর্ভুক্ত করে:

(1) অন্ধ প্লেট

উল্লম্ব একমুখী প্রবাহ সহ একটি পরিষ্কার ঘরে, প্রাচীরের জয়েন্টগুলির কারণে, সাধারণত বড় অন্ধ প্যানেল রয়েছে যা অশান্ত প্রবাহ এবং স্থানীয় ব্যাকফ্লো উত্পাদন করবে।

(2) প্রদীপ

ক্লিন রুমে আলোকসজ্জার ফিক্সচারগুলি আরও বেশি প্রভাব ফেলবে। যেহেতু ফ্লুরোসেন্ট ল্যাম্পের উত্তাপের ফলে বায়ু প্রবাহ বাড়তে থাকে, তাই ফ্লুরোসেন্ট ল্যাম্পটি অশান্ত অঞ্চলে পরিণত হবে না। সাধারণত, ক্লিন রুমে প্রদীপগুলি এয়ারফ্লো সংস্থার প্রদীপগুলির প্রভাব হ্রাস করার জন্য একটি টিয়ারড্রপ আকারে ডিজাইন করা হয়।

(3) দেয়ালের মধ্যে ফাঁক

যখন বিভিন্ন পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তার সাথে পার্টিশন দেয়াল বা সিলিংয়ের মধ্যে ফাঁক থাকে, তখন স্বল্প পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তাযুক্ত অঞ্চলগুলি থেকে ধুলা উচ্চ পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা সহ সংলগ্ন অঞ্চলে স্থানান্তরিত হতে পারে।

(4) যান্ত্রিক সরঞ্জাম এবং মেঝে বা প্রাচীরের মধ্যে দূরত্ব

যদি যান্ত্রিক সরঞ্জাম এবং মেঝে বা প্রাচীরের মধ্যে ব্যবধানটি ছোট হয় তবে রিবাউন্ড অশান্তি ঘটবে। অতএব, সরঞ্জাম এবং প্রাচীরের মধ্যে একটি ব্যবধান ছেড়ে দিন এবং মাটির সাথে সরাসরি যোগাযোগ এড়াতে মেশিন প্ল্যাটফর্মটি বাড়ান।