পরিবেশ সুরক্ষার দিকে আরও বেশি মনোযোগ দেওয়া হয়, বিশেষ করে কুয়াশা বৃদ্ধির সাথে সাথে।পরিচ্ছন্ন কক্ষ প্রকৌশল পরিবেশ সুরক্ষা ব্যবস্থাগুলির মধ্যে একটি।পরিবেশ সুরক্ষায় একটি ভাল কাজ করার জন্য কীভাবে ক্লিন রুম ইঞ্জিনিয়ারিং ব্যবহার করবেন?ক্লিন রুম ইঞ্জিনিয়ারিং এ কন্ট্রোল সম্পর্কে কথা বলা যাক।
পরিষ্কার ঘরে তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা নিয়ন্ত্রণ
পরিষ্কার স্থানগুলির তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা প্রধানত প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তার উপর ভিত্তি করে নির্ধারিত হয়, তবে প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করার সময়, মানুষের আরামকে বিবেচনায় নেওয়া উচিত।বায়ু পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তার উন্নতির সাথে, প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতার জন্য কঠোর প্রয়োজনীয়তার প্রবণতা রয়েছে।
একটি সাধারণ নীতি হিসাবে, প্রক্রিয়াকরণের ক্রমবর্ধমান নির্ভুলতার কারণে, তাপমাত্রা ওঠানামার পরিসরের প্রয়োজনীয়তাগুলি ছোট থেকে ছোট হয়ে আসছে।উদাহরণস্বরূপ, বৃহৎ আকারের সমন্বিত সার্কিট উত্পাদনের লিথোগ্রাফি এবং এক্সপোজার প্রক্রিয়াতে, মুখোশ উপকরণ হিসাবে ব্যবহৃত গ্লাস এবং সিলিকন ওয়েফারের মধ্যে তাপীয় সম্প্রসারণ সহগের পার্থক্য ক্রমশ ছোট হয়ে আসছে।
100 μm ব্যাসের একটি সিলিকন ওয়েফার যখন তাপমাত্রা 1 ডিগ্রি বৃদ্ধি পায় তখন 0.24 μm এর রৈখিক প্রসারণ ঘটায়।অতএব, ± 0.1 ℃ একটি ধ্রুবক তাপমাত্রা প্রয়োজন, এবং আর্দ্রতার মান সাধারণত কম কারণ ঘামের পরে, পণ্যটি দূষিত হবে, বিশেষত সেমিকন্ডাক্টর ওয়ার্কশপে যা সোডিয়াম থেকে ভয় পায়।এই ধরনের কর্মশালা 25℃ অতিক্রম করা উচিত নয়.
অতিরিক্ত আর্দ্রতা আরও সমস্যার সৃষ্টি করে।যখন আপেক্ষিক আর্দ্রতা 55% ছাড়িয়ে যায়, তখন শীতল জলের পাইপের দেয়ালে ঘনীভবন তৈরি হবে।যদি এটি নির্ভুল ডিভাইস বা সার্কিটে ঘটে তবে এটি বিভিন্ন দুর্ঘটনা ঘটাতে পারে।যখন আপেক্ষিক আর্দ্রতা 50% হয়, তখন মরিচা পড়া সহজ।উপরন্তু, যখন আর্দ্রতা খুব বেশি হয়, তখন সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের সাথে লেগে থাকা ধুলো বাতাসে জলের অণুর মাধ্যমে পৃষ্ঠে রাসায়নিকভাবে শোষিত হবে, যা অপসারণ করা কঠিন।
আপেক্ষিক আর্দ্রতা যত বেশি, আনুগত্য অপসারণ করা তত কঠিন।যাইহোক, যখন আপেক্ষিক আর্দ্রতা 30% এর নিচে থাকে, তখন ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক বলের কারণে কণাগুলিও সহজে পৃষ্ঠে শোষিত হয় এবং প্রচুর সংখ্যক সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস ভাঙ্গনের ঝুঁকিতে থাকে।সিলিকন ওয়েফার উৎপাদনের জন্য সর্বোত্তম তাপমাত্রা পরিসীমা 35-45%।
বায়ু চাপনিয়ন্ত্রণপরিষ্কার ঘরে
বেশিরভাগ পরিষ্কার স্থানের জন্য, বহিরাগত দূষণকে আক্রমণ করা থেকে রোধ করার জন্য, বহিরাগত চাপের (স্ট্যাটিক চাপ) চেয়ে অভ্যন্তরীণ চাপ (স্থির চাপ) বেশি বজায় রাখা প্রয়োজন।চাপের পার্থক্য রক্ষণাবেক্ষণের জন্য সাধারণত নিম্নলিখিত নীতিগুলি মেনে চলতে হবে:
1. পরিষ্কার স্থানের চাপ অ-পরিষ্কার স্থানের চেয়ে বেশি হওয়া উচিত।
2. উচ্চ পরিচ্ছন্নতা স্তর সহ শূন্যস্থানে চাপ কম পরিচ্ছন্নতার স্তর সহ সংলগ্ন স্থানগুলির চেয়ে বেশি হওয়া উচিত।
3. পরিষ্কার কক্ষগুলির মধ্যে দরজাগুলি উচ্চ পরিচ্ছন্নতার স্তর সহ কক্ষগুলির দিকে খোলা উচিত।
চাপের পার্থক্য রক্ষণাবেক্ষণ তাজা বাতাসের পরিমাণের উপর নির্ভর করে, যা এই চাপের পার্থক্যের মধ্যে ফাঁক থেকে বাতাসের ফুটোকে ক্ষতিপূরণ দিতে সক্ষম হওয়া উচিত।সুতরাং চাপের পার্থক্যের শারীরিক অর্থ হল পরিষ্কার ঘরের বিভিন্ন ফাঁক দিয়ে ফুটো (বা অনুপ্রবেশ) বায়ু প্রবাহের প্রতিরোধ।
পোস্টের সময়: জুলাই-২১-২০২৩