পরিবেশ সুরক্ষার উপর ক্রমবর্ধমান মনোযোগ দেওয়া হচ্ছে, বিশেষ করে কুয়াশাচ্ছন্ন আবহাওয়ার সাথে সাথে। ক্লিন রুম ইঞ্জিনিয়ারিং হল পরিবেশ সুরক্ষার একটি পদক্ষেপ। পরিবেশ সুরক্ষায় ভালো কাজ করার জন্য ক্লিন রুম ইঞ্জিনিয়ারিং কীভাবে ব্যবহার করবেন? আসুন ক্লিন রুম ইঞ্জিনিয়ারিংয়ের নিয়ন্ত্রণ সম্পর্কে কথা বলি।
পরিষ্কার ঘরে তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা নিয়ন্ত্রণ
পরিষ্কার স্থানের তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা মূলত প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তার উপর ভিত্তি করে নির্ধারিত হয়, তবে প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করার সময়, মানুষের আরামের বিষয়টি বিবেচনায় নেওয়া উচিত। বায়ু পরিষ্কারের প্রয়োজনীয়তার উন্নতির সাথে সাথে, প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতার জন্য কঠোর প্রয়োজনীয়তার প্রবণতা রয়েছে।
একটি সাধারণ নীতি হিসাবে, প্রক্রিয়াকরণের ক্রমবর্ধমান নির্ভুলতার কারণে, তাপমাত্রার ওঠানামার পরিসরের প্রয়োজনীয়তাগুলি ক্রমশ ছোট হয়ে আসছে। উদাহরণস্বরূপ, বৃহৎ-স্কেল ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উৎপাদনের লিথোগ্রাফি এবং এক্সপোজার প্রক্রিয়ায়, মাস্ক উপকরণ হিসাবে ব্যবহৃত কাচ এবং সিলিকন ওয়েফারের মধ্যে তাপীয় সম্প্রসারণ সহগের পার্থক্য ক্রমশ ছোট হয়ে আসছে।
১০০ মাইক্রোমিটার ব্যাসের একটি সিলিকন ওয়েফার তাপমাত্রা ১ ডিগ্রি বৃদ্ধি পেলে ০.২৪ মাইক্রোমিটার রৈখিক প্রসারণ ঘটায়। অতএব, ± ০.১ ℃ স্থির তাপমাত্রা প্রয়োজন, এবং আর্দ্রতার মান সাধারণত কম থাকে কারণ ঘামের পরে, পণ্যটি দূষিত হবে, বিশেষ করে সেমিকন্ডাক্টর ওয়ার্কশপগুলিতে যেখানে সোডিয়াম ভয় পায়। এই ধরণের ওয়ার্কশপ ২৫ ℃ এর বেশি হওয়া উচিত নয়।
অতিরিক্ত আর্দ্রতা আরও সমস্যা তৈরি করে। আপেক্ষিক আর্দ্রতা ৫৫% ছাড়িয়ে গেলে, শীতল জলের পাইপের দেয়ালে ঘনীভবন তৈরি হবে। যদি এটি নির্ভুল ডিভাইস বা সার্কিটে ঘটে, তবে এটি বিভিন্ন দুর্ঘটনা ঘটাতে পারে। আপেক্ষিক আর্দ্রতা ৫০% হলে, এটি সহজেই মরিচা পড়ে। এছাড়াও, যখন আর্দ্রতা খুব বেশি থাকে, তখন সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে লেগে থাকা ধুলো বাতাসে থাকা জলের অণুর মাধ্যমে পৃষ্ঠে রাসায়নিকভাবে শোষিত হবে, যা অপসারণ করা কঠিন।
আপেক্ষিক আর্দ্রতা যত বেশি হবে, আঠালো অপসারণ করা তত কঠিন হবে। তবে, যখন আপেক্ষিক আর্দ্রতা 30% এর নিচে থাকে, তখন তড়িৎ-বিদ্যুৎ বলের ক্রিয়াজনিত কারণে কণাগুলি সহজেই পৃষ্ঠের উপরে শোষিত হয় এবং প্রচুর সংখ্যক অর্ধপরিবাহী ডিভাইস ভেঙে যাওয়ার ঝুঁকিতে থাকে। সিলিকন ওয়েফার উৎপাদনের জন্য সর্বোত্তম তাপমাত্রা পরিসীমা 35-45%।
বায়ুচাপনিয়ন্ত্রণপরিষ্কার ঘরে
বেশিরভাগ পরিষ্কার স্থানের জন্য, বাহ্যিক দূষণকে আক্রমণ থেকে রোধ করার জন্য, বাহ্যিক চাপের (স্থির চাপ) চেয়ে অভ্যন্তরীণ চাপ (স্থির চাপ) বেশি বজায় রাখা প্রয়োজন। চাপের পার্থক্য বজায় রাখার ক্ষেত্রে সাধারণত নিম্নলিখিত নীতিগুলি মেনে চলা উচিত:
১. পরিষ্কার জায়গায় চাপ অ-পরিষ্কার জায়গার তুলনায় বেশি হওয়া উচিত।
2. উচ্চ পরিচ্ছন্নতার স্তরের স্থানগুলিতে চাপ কম পরিচ্ছন্নতার স্তরের সংলগ্ন স্থানগুলির তুলনায় বেশি হওয়া উচিত।
৩. পরিষ্কার কক্ষগুলির মধ্যে দরজাগুলি উচ্চ পরিচ্ছন্নতার স্তরের কক্ষগুলির দিকে খোলা উচিত।
চাপের পার্থক্য বজায় রাখা নির্ভর করে তাজা বাতাসের পরিমাণের উপর, যা এই চাপের পার্থক্যের অধীনে ফাঁক থেকে বায়ু ফুটো হওয়ার ক্ষতিপূরণ দিতে সক্ষম হওয়া উচিত। সুতরাং চাপের পার্থক্যের ভৌত অর্থ হল পরিষ্কার ঘরের বিভিন্ন ফাঁক দিয়ে ফুটো (বা অনুপ্রবেশ) বায়ু প্রবাহের প্রতিরোধ।
পোস্টের সময়: জুলাই-২১-২০২৩