

পরিষ্কার কক্ষগুলিকে ধুলোমুক্ত কক্ষও বলা হয়। এগুলি একটি নির্দিষ্ট স্থানের মধ্যে বাতাসে ধুলো কণা, ক্ষতিকারক বায়ু এবং ব্যাকটেরিয়ার মতো দূষণকারী পদার্থ নির্গত করতে এবং একটি নির্দিষ্ট সীমার মধ্যে ঘরের তাপমাত্রা, পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা, অভ্যন্তরীণ চাপ, বায়ুপ্রবাহের বেগ এবং বায়ুপ্রবাহ বিতরণ, শব্দ কম্পন, আলো এবং স্থির বিদ্যুৎ নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত হয়। পরিষ্কার কক্ষ পরিশোধন ব্যবস্থায় পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা অর্জনের জন্য নিম্নলিখিত চারটি প্রয়োজনীয় শর্ত বর্ণনা করা হয়েছে।
1. বায়ু সরবরাহের পরিচ্ছন্নতা
বায়ু সরবরাহের পরিচ্ছন্নতা প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে তা নিশ্চিত করার জন্য, মূল বিষয় হল পরিশোধন ব্যবস্থার চূড়ান্ত ফিল্টারের কর্মক্ষমতা এবং ইনস্টলেশন। ক্লিন রুম সিস্টেমের চূড়ান্ত ফিল্টার সাধারণত একটি হেপা ফিল্টার বা একটি সাব-হেপা ফিল্টার ব্যবহার করে। জাতীয় মান অনুসারে, হেপা ফিল্টারের দক্ষতা চারটি গ্রেডে বিভক্ত: ক্লাস A হল ≥99.9%, ক্লাস B হল ≥99.99%, ক্লাস C হল ≥99.999%, ক্লাস D হল (≥0.1μm কণার জন্য) ≥99.999% (আল্ট্রা-হেপা ফিল্টার নামেও পরিচিত); সাব-হেপা ফিল্টার হল (≥0.5μm কণার জন্য) 95~99.9%।
2. বায়ুপ্রবাহ সংগঠন
একটি পরিষ্কার ঘরের বায়ুপ্রবাহ সংগঠন একটি সাধারণ শীতাতপ নিয়ন্ত্রিত ঘরের থেকে আলাদা। এর জন্য প্রথমে সবচেয়ে পরিষ্কার বাতাস অপারেটিং এরিয়ায় পৌঁছে দেওয়া প্রয়োজন। এর কাজ হল প্রক্রিয়াজাত বস্তুর দূষণ সীমিত করা এবং হ্রাস করা। বিভিন্ন বায়ুপ্রবাহ সংগঠনের নিজস্ব বৈশিষ্ট্য এবং সুযোগ রয়েছে: উল্লম্ব একমুখী প্রবাহ: উভয়ই অভিন্ন নিম্নগামী বায়ুপ্রবাহ পেতে পারে, প্রক্রিয়া সরঞ্জামের বিন্যাস সহজতর করতে পারে, শক্তিশালী স্ব-পরিষ্কার ক্ষমতা থাকতে পারে এবং ব্যক্তিগত পরিষ্কার ঘর সুবিধার মতো সাধারণ সুবিধাগুলিকে সহজতর করতে পারে। চারটি বায়ু সরবরাহ পদ্ধতিরও নিজস্ব সুবিধা এবং অসুবিধা রয়েছে: সম্পূর্ণরূপে আচ্ছাদিত হেপা ফিল্টারগুলির কম প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং দীর্ঘ ফিল্টার প্রতিস্থাপন চক্রের সুবিধা রয়েছে, তবে সিলিং কাঠামো জটিল এবং খরচ বেশি; পার্শ্ব-আচ্ছাদিত হেপা ফিল্টার টপ ডেলিভারি এবং পূর্ণ-গর্ত প্লেট টপ ডেলিভারির সুবিধা এবং অসুবিধাগুলি সম্পূর্ণরূপে আচ্ছাদিত হেপা ফিল্টার টপ ডেলিভারির বিপরীত। এর মধ্যে, সিস্টেমটি অবিচ্ছিন্নভাবে চলমান না থাকলে ফুল-গর্ত প্লেট টপ ডেলিভারি অরিফিস প্লেটের অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠে ধুলো জমা হওয়ার ঝুঁকিতে থাকে এবং দুর্বল রক্ষণাবেক্ষণ পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতার উপর কিছু প্রভাব ফেলবে; ঘন ডিফিউজার টপ ডেলিভারির জন্য একটি মিক্সিং লেয়ার প্রয়োজন, তাই এটি শুধুমাত্র 4 মিটারের বেশি লম্বা পরিষ্কার কক্ষের জন্য উপযুক্ত, এবং এর বৈশিষ্ট্যগুলি ফুল-হোল প্লেট টপ ডেলিভারির মতো; উভয় পাশে গ্রিল সহ প্লেট এবং উভয় পাশে দেয়ালের নীচে সমানভাবে সাজানো রিটার্ন এয়ার আউটলেটগুলির জন্য রিটার্ন এয়ার পদ্ধতি শুধুমাত্র উভয় পাশে 6 মিটারের কম নেট স্পেসিং সহ পরিষ্কার কক্ষগুলির জন্য উপযুক্ত; একক-পার্শ্ব প্রাচীরের নীচে রিটার্ন এয়ার আউটলেটগুলি কেবল দেয়ালের মধ্যে ছোট ব্যবধান সহ পরিষ্কার কক্ষগুলির জন্য উপযুক্ত (যেমন ≤2~3 মিটার)। অনুভূমিক একমুখী প্রবাহ: শুধুমাত্র প্রথম কর্মক্ষেত্রটি 100-স্তরের পরিচ্ছন্নতায় পৌঁছায়। যখন বাতাস অন্য দিকে প্রবাহিত হয়, তখন ধুলোর ঘনত্ব ধীরে ধীরে বৃদ্ধি পায়। অতএব, এটি শুধুমাত্র একই প্রক্রিয়ার জন্য বিভিন্ন পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা সহ পরিষ্কার কক্ষগুলির জন্য উপযুক্ত। বায়ু সরবরাহ প্রাচীরে হেপা ফিল্টারের স্থানীয় বিতরণ হেপা ফিল্টারের ব্যবহার কমাতে পারে এবং প্রাথমিক বিনিয়োগ বাঁচাতে পারে, তবে স্থানীয় এলাকায় এডি রয়েছে। অস্থির বায়ুপ্রবাহ: অরিফিস প্লেটের টপ ডেলিভারি এবং ঘন ডিফিউজারগুলির টপ ডেলিভারির বৈশিষ্ট্য উপরে উল্লিখিত বৈশিষ্ট্যগুলির মতোই। সাইড ডেলিভারির সুবিধাগুলি হল সহজ পাইপলাইন লেআউট, কোনও প্রযুক্তিগত ইন্টারলেয়ার নেই, কম খরচ এবং পুরানো কারখানাগুলির সংস্কারের জন্য সহায়ক। অসুবিধাগুলি হল কর্মক্ষেত্রে বাতাসের গতি বেশি এবং নিম্নমুখী দিকে ধুলোর ঘনত্ব আপওয়াইন্ড দিকের তুলনায় বেশি। হেপা ফিল্টার আউটলেটগুলির টপ ডেলিভারির সুবিধাগুলি হল সহজ সিস্টেম, হেপা ফিল্টারের পিছনে কোনও পাইপলাইন নেই এবং পরিষ্কার বায়ুপ্রবাহ সরাসরি কর্মক্ষেত্রে সরবরাহ করা হয়, তবে পরিষ্কার বায়ুপ্রবাহ ধীরে ধীরে ছড়িয়ে পড়ে এবং কর্মক্ষেত্রে বায়ুপ্রবাহ আরও অভিন্ন হয়। যাইহোক, যখন একাধিক বায়ুপ্রবাহ সমানভাবে সাজানো হয় বা ডিফিউজার সহ হেপা ফিল্টার আউটলেট ব্যবহার করা হয়, তখন কর্মক্ষেত্রে বায়ুপ্রবাহ আরও অভিন্ন করা যেতে পারে। তবে, যখন সিস্টেমটি ক্রমাগত চলমান না থাকে, তখন ডিফিউজারে ধুলো জমা হওয়ার প্রবণতা থাকে।
৩. বায়ু সরবরাহের পরিমাণ বা বায়ুর বেগ
পর্যাপ্ত বায়ুচলাচলের পরিমাণ হল ঘরের দূষিত বাতাসকে পাতলা করে অপসারণ করা। বিভিন্ন পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা অনুসারে, যখন পরিষ্কার ঘরের নেট উচ্চতা বেশি থাকে, তখন বায়ুচলাচলের ফ্রিকোয়েন্সি যথাযথভাবে বৃদ্ধি করা উচিত। এর মধ্যে, ১ মিলিয়ন পরিষ্কার ঘরের বায়ুচলাচলের পরিমাণ উচ্চ-দক্ষতা সম্পন্ন পরিষ্কার ঘর ব্যবস্থা অনুসারে বিবেচনা করা হয়, এবং বাকিগুলি উচ্চ-দক্ষতা সম্পন্ন পরিষ্কার ঘর ব্যবস্থা অনুসারে বিবেচনা করা হয়; যখন ১০০,০০০ শ্রেণীর পরিষ্কার ঘরের হেপা ফিল্টারগুলি মেশিন রুমে কেন্দ্রীভূত করা হয় বা সিস্টেমের শেষে সাব-হেপা ফিল্টারগুলি ব্যবহার করা হয়, তখন বায়ুচলাচলের ফ্রিকোয়েন্সি যথাযথভাবে ১০% থেকে ২০% বৃদ্ধি করা যেতে পারে।
৪. স্থির চাপের পার্থক্য
পরিকল্পিত পরিচ্ছন্নতার স্তর বজায় রাখার জন্য পরিষ্কার ঘরটি যাতে দূষিত না হয় বা কম দূষিত না হয় তা নিশ্চিত করার জন্য পরিষ্কার ঘরে একটি নির্দিষ্ট ধনাত্মক চাপ বজায় রাখা অপরিহার্য শর্তগুলির মধ্যে একটি। এমনকি একটি নেতিবাচক চাপযুক্ত পরিষ্কার ঘরের জন্যও, একটি নির্দিষ্ট ধনাত্মক চাপযুক্ত পরিষ্কার ঘরের জন্য, এর সংলগ্ন একটি ঘর বা স্যুট থাকতে হবে যার পরিচ্ছন্নতার স্তর তার স্তরের চেয়ে কম নয়, যাতে একটি নির্দিষ্ট ধনাত্মক চাপযুক্ত পরিষ্কার ঘরের পরিচ্ছন্নতা বজায় রাখা যায়। পরিষ্কার ঘরের ধনাত্মক চাপের মান বলতে সেই মানকে বোঝায় যখন সমস্ত দরজা এবং জানালা বন্ধ থাকা অবস্থায় অভ্যন্তরীণ স্থির চাপ বাইরের স্থির চাপের চেয়ে বেশি হয়। এই পদ্ধতি দ্বারা এটি অর্জন করা হয় যে পরিশোধন ব্যবস্থার বায়ু সরবরাহের পরিমাণ রিটার্ন এয়ার ভলিউম এবং এক্সস্ট এয়ার ভলিউমের চেয়ে বেশি। পরিষ্কার ঘরের ধনাত্মক চাপের মান নিশ্চিত করার জন্য, বায়ু সরবরাহ, রিটার্ন এয়ার এবং এক্সস্ট ফ্যানগুলিকে ইন্টারলক করা ভাল। যখন সিস্টেমটি চালু করা হয়, তখন প্রথমে সরবরাহ ফ্যান চালু করা হয়, এবং তারপরে রিটার্ন ফ্যান এবং এক্সস্ট ফ্যান শুরু করা হয়; যখন সিস্টেমটি বন্ধ করা হয়, তখন প্রথমে এক্সস্ট ফ্যান বন্ধ করা হয়, এবং তারপরে রিটার্ন ফ্যান এবং সাপ্লাই ফ্যান বন্ধ করা হয় যাতে সিস্টেমটি চালু এবং বন্ধ করার সময় পরিষ্কার ঘরটি দূষিত না হয়। পরিষ্কার ঘরের ধনাত্মক চাপ বজায় রাখার জন্য প্রয়োজনীয় বায়ুর পরিমাণ মূলত রক্ষণাবেক্ষণ কাঠামোর নিবিড়তা দ্বারা নির্ধারিত হয়। চীনে পরিষ্কার ঘর নির্মাণের প্রাথমিক পর্যায়ে, ঘেরের কাঠামোর দুর্বল নিবিড়তার কারণে, ≥5Pa এর ধনাত্মক চাপ বজায় রাখতে 2~6 গুণ/ঘন্টা বায়ু সরবরাহ লাগত; বর্তমানে, রক্ষণাবেক্ষণ কাঠামোর নিবিড়তা ব্যাপকভাবে উন্নত হয়েছে, এবং একই ধনাত্মক চাপ বজায় রাখতে মাত্র 1~2 গুণ/ঘন্টা বায়ু সরবরাহ লাগে; ≥10Pa বজায় রাখতে মাত্র 2~3 গুণ/ঘন্টা বায়ু সরবরাহ লাগে। জাতীয় নকশার স্পেসিফিকেশন অনুসারে, বিভিন্ন স্তরের পরিষ্কার কক্ষ এবং পরিষ্কার এলাকা এবং অ-পরিষ্কার এলাকার মধ্যে স্থির চাপের পার্থক্য 0.5mmH2O (~5Pa) এর কম হওয়া উচিত নয় এবং পরিষ্কার এলাকা এবং বাইরের মধ্যে স্থির চাপের পার্থক্য 1.0mmH2O (~10Pa) এর কম হওয়া উচিত নয়।




পোস্টের সময়: মার্চ-০৩-২০২৫