পরিষ্কার ঘরে এয়ারফ্লো সংগঠনকে প্রভাবিত করার কারণগুলি কী কী?

আইসি উৎপাদন শিল্পে চিপের উৎপাদনের হার চিপে জমা হওয়া বায়ু কণার আকার এবং সংখ্যার সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সম্পর্কিত। একটি ভালো বায়ুপ্রবাহ সংগঠন ধুলোর উৎস থেকে উৎপন্ন কণাগুলিকে পরিষ্কার ঘর থেকে দূরে সরিয়ে পরিষ্কার ঘর পরিষ্কার রাখতে পারে, অর্থাৎ, পরিষ্কার ঘরে বায়ুপ্রবাহ সংগঠন আইসি উৎপাদনের উৎপাদনের হারে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। পরিষ্কার ঘরে বায়ুপ্রবাহ সংগঠনের নকশার নিম্নলিখিত লক্ষ্যগুলি অর্জন করা প্রয়োজন: ক্ষতিকারক কণা ধরে রাখা এড়াতে প্রবাহ ক্ষেত্রের এডি কারেন্ট হ্রাস বা নির্মূল করা; ক্রস-দূষণ রোধ করার জন্য উপযুক্ত ধনাত্মক চাপ গ্রেডিয়েন্ট বজায় রাখা।

বায়ুপ্রবাহ বল

ক্লিন রুম নীতি অনুসারে, কণার উপর ক্রিয়াশীল বলগুলির মধ্যে রয়েছে ভর বল, আণবিক বল, কণার মধ্যে আকর্ষণ, বায়ুপ্রবাহ বল ইত্যাদি।

বায়ুপ্রবাহ বল: ডেলিভারি, রিটার্ন এয়ারফ্লো, তাপীয় পরিচলন এয়ারফ্লো, কৃত্রিম আলোড়ন এবং কণা বহন করার জন্য একটি নির্দিষ্ট প্রবাহ হার সহ অন্যান্য বায়ুপ্রবাহের কারণে সৃষ্ট বায়ুপ্রবাহের বলকে বোঝায়। পরিষ্কার ঘরের পরিবেশের প্রযুক্তিগত নিয়ন্ত্রণের জন্য, বায়ুপ্রবাহ বল সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ বিষয়।

পরীক্ষা-নিরীক্ষায় দেখা গেছে যে, বায়ুপ্রবাহের গতিবিধিতে, কণাগুলি প্রায় একই গতিতে বায়ুপ্রবাহের গতিবিধি অনুসরণ করে। বাতাসে কণার অবস্থা বায়ুপ্রবাহ বিতরণ দ্বারা নির্ধারিত হয়। অভ্যন্তরীণ কণাগুলিকে প্রভাবিত করে এমন বায়ুপ্রবাহের মধ্যে প্রধানত রয়েছে: বায়ু সরবরাহ বায়ুপ্রবাহ (প্রাথমিক বায়ুপ্রবাহ এবং গৌণ বায়ুপ্রবাহ সহ), মানুষের হাঁটার ফলে সৃষ্ট বায়ুপ্রবাহ এবং তাপীয় পরিচলন বায়ুপ্রবাহ এবং প্রক্রিয়া পরিচালনা এবং শিল্প সরঞ্জামের কারণে সৃষ্ট বায়ুপ্রবাহ। বিভিন্ন বায়ু সরবরাহ পদ্ধতি, গতি ইন্টারফেস, অপারেটর এবং শিল্প সরঞ্জাম এবং পরিষ্কার কক্ষে প্ররোচিত ঘটনাগুলি পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতার স্তরকে প্রভাবিত করে এমন সমস্ত কারণ।

বায়ুপ্রবাহ সংগঠনকে প্রভাবিত করার কারণগুলি

১. বায়ু সরবরাহ পদ্ধতির প্রভাব

(১)। বায়ু সরবরাহের গতি

অভিন্ন বায়ুপ্রবাহ নিশ্চিত করার জন্য, একমুখী পরিষ্কার ঘরে বায়ু সরবরাহের গতি অবশ্যই অভিন্ন হতে হবে; বায়ু সরবরাহ পৃষ্ঠের মৃত অঞ্চলটি ছোট হতে হবে; এবং ULPA-তে চাপের হ্রাসও অভিন্ন হতে হবে।

অভিন্ন বায়ু সরবরাহ গতি: অর্থাৎ, বায়ুপ্রবাহের অসমতা ±20% এর মধ্যে নিয়ন্ত্রিত হয়।

বায়ু সরবরাহ পৃষ্ঠে কম মৃত অঞ্চল: ULPA ফ্রেমের সমতল ক্ষেত্রফল কেবল হ্রাস করা উচিত নয়, বরং আরও গুরুত্বপূর্ণ বিষয় হল, অপ্রয়োজনীয় ফ্রেমটিকে সহজ করার জন্য মডুলার FFU গ্রহণ করা উচিত।

উল্লম্ব একমুখী বায়ুপ্রবাহ নিশ্চিত করার জন্য, ফিল্টারের চাপ হ্রাস নির্বাচনও অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, যার জন্য ফিল্টারের চাপ হ্রাস বিচ্যুত না হওয়া প্রয়োজন।

(২)। FFU সিস্টেম এবং অক্ষীয় প্রবাহ ফ্যান সিস্টেমের মধ্যে তুলনা

FFU হলো একটি বায়ু সরবরাহ ইউনিট যার একটি পাখা এবং একটি ফিল্টার (ULPA) থাকে। FFU এর কেন্দ্রাতিগ পাখা দ্বারা বাতাস শোষণ করার পর, গতিশীল চাপ বায়ু নালীতে স্থির চাপে রূপান্তরিত হয় এবং ULPA দ্বারা সমানভাবে বেরিয়ে যায়। সিলিংয়ে বায়ু সরবরাহের চাপ হল ঋণাত্মক চাপ, যাতে ফিল্টার প্রতিস্থাপনের সময় পরিষ্কার ঘরে কোনও ধুলো ঢুকতে না পারে। পরীক্ষায় দেখা গেছে যে FFU সিস্টেমটি বায়ু নির্গমনের অভিন্নতা, বায়ুপ্রবাহ সমান্তরালতা এবং বায়ুচলাচল দক্ষতা সূচকের দিক থেকে অক্ষীয় প্রবাহ ফ্যান সিস্টেমের চেয়ে উন্নত। এর কারণ হল FFU সিস্টেমের বায়ুপ্রবাহ সমান্তরালতা উন্নত। FFU সিস্টেমের ব্যবহার পরিষ্কার ঘরে বায়ুপ্রবাহকে আরও সুসংগঠিত করতে পারে।

(৩)। FFU-এর নিজস্ব কাঠামোর প্রভাব

FFU মূলত ফ্যান, ফিল্টার, এয়ারফ্লো গাইড ডিভাইস এবং অন্যান্য উপাদান দিয়ে তৈরি। অতি-উচ্চ দক্ষতার ফিল্টার ULPA হল পরিষ্কার ঘরটি নকশার প্রয়োজনীয় পরিচ্ছন্নতা অর্জন করতে পারে কিনা তার জন্য সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ গ্যারান্টি। ফিল্টারের উপাদান প্রবাহ ক্ষেত্রের অভিন্নতাকেও প্রভাবিত করবে। যখন একটি মোটা ফিল্টার উপাদান বা একটি ল্যামিনার প্রবাহ প্লেট ফিল্টার আউটলেটে যোগ করা হয়, তখন আউটলেট প্রবাহ ক্ষেত্রটি সহজেই অভিন্ন করা যায়।

2. পরিচ্ছন্নতার বিভিন্ন গতির ইন্টারফেসের প্রভাব

একই পরিষ্কার ঘরে, উল্লম্ব একমুখী প্রবাহের কর্মক্ষেত্র এবং অ-কার্যক্ষম ক্ষেত্রের মধ্যে, ULPA আউটলেটে বায়ুর গতির পার্থক্যের কারণে, ইন্টারফেসে একটি মিশ্র ঘূর্ণি প্রভাব তৈরি হবে এবং এই ইন্টারফেসটি বিশেষ করে উচ্চ বায়ু অস্থিরতার তীব্রতা সহ একটি অশান্ত বায়ু প্রবাহ অঞ্চলে পরিণত হবে। কণাগুলি সরঞ্জামের পৃষ্ঠে প্রেরণ করা যেতে পারে এবং সরঞ্জাম এবং ওয়েফারগুলিকে দূষিত করতে পারে।

৩. কর্মী এবং সরঞ্জামের প্রভাব

যখন পরিষ্কার ঘর খালি থাকে, তখন ঘরের বায়ু প্রবাহের বৈশিষ্ট্যগুলি সাধারণত নকশার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে। একবার সরঞ্জাম পরিষ্কার ঘরে প্রবেশ করলে, কর্মীরা স্থানান্তরিত হয় এবং পণ্যগুলি প্রেরণ করা হয়, তখন বায়ু প্রবাহ সংগঠনে অনিবার্যভাবে বাধা সৃষ্টি হবে। উদাহরণস্বরূপ, সরঞ্জামের প্রসারিত কোণ বা প্রান্তে, গ্যাসটি একটি অশান্ত অঞ্চল তৈরিতে ডাইভার্ট করা হবে এবং জোনের তরল গ্যাস দ্বারা সহজে বহন করা হবে না, ফলে দূষণ ঘটবে। একই সময়ে, ক্রমাগত অপারেশনের কারণে সরঞ্জামের পৃষ্ঠ উত্তপ্ত হবে এবং তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্ট মেশিনের কাছে একটি রিফ্লো জোন তৈরি করবে, যা রিফ্লো জোনে কণার জমা বৃদ্ধি করবে। একই সময়ে, উচ্চ তাপমাত্রা সহজেই কণাগুলিকে বেরিয়ে যেতে বাধ্য করবে। দ্বৈত প্রভাব সামগ্রিক উল্লম্ব ল্যামিনার পরিচ্ছন্নতা নিয়ন্ত্রণের অসুবিধাকে আরও বাড়িয়ে তোলে। পরিষ্কার ঘরে অপারেটরদের ধুলো এই রিফ্লো জোনগুলিতে ওয়েফারগুলিতে লেগে থাকা খুব সহজ।

৪. রিটার্ন এয়ার ফ্লোরের প্রভাব

যখন মেঝের মধ্য দিয়ে ফেরত আসা বাতাসের প্রতিরোধ ক্ষমতা ভিন্ন হবে, তখন চাপের পার্থক্য তৈরি হবে, যার ফলে বাতাস কম প্রতিরোধের দিকে প্রবাহিত হবে এবং অভিন্ন বায়ুপ্রবাহ পাওয়া যাবে না। বর্তমান জনপ্রিয় নকশা পদ্ধতি হল উঁচু মেঝে ব্যবহার করা। উঁচু মেঝে খোলার হার যখন ১০% হয়, তখন ঘরের কাজের উচ্চতায় বায়ুপ্রবাহের বেগ সমানভাবে বিতরণ করা যেতে পারে। এছাড়াও, মেঝের দূষণের উৎস কমাতে পরিষ্কারের কাজের প্রতি কঠোর মনোযোগ দেওয়া উচিত।

৫. আবেশন ঘটনা

তথাকথিত আবেশন ঘটনা বলতে বোঝায় যে অভিন্ন প্রবাহের বিপরীত দিকে বায়ুপ্রবাহ তৈরি হয় এবং ঘরে উৎপন্ন ধুলো বা সংলগ্ন দূষিত এলাকার ধুলো বাতাসের দিকে প্রবাহিত হয়, যাতে ধুলো চিপকে দূষিত করতে পারে। সম্ভাব্য আবেশন ঘটনাগুলি নিম্নরূপ:

(১). ব্লাইন্ড প্লেট

উল্লম্ব একমুখী প্রবাহ সহ একটি পরিষ্কার ঘরে, দেয়ালের জয়েন্টগুলির কারণে, সাধারণত বড় ব্লাইন্ড প্লেট থাকে যা স্থানীয় প্রত্যাবর্তন প্রবাহে অশান্তি সৃষ্টি করবে।

(২)। ল্যাম্প

পরিষ্কার ঘরের আলোর ফিক্সচারের প্রভাব বেশি হবে। যেহেতু ফ্লুরোসেন্ট ল্যাম্পের তাপ বায়ুপ্রবাহ বৃদ্ধি করে, তাই ফ্লুরোসেন্ট ল্যাম্পের নীচে কোনও অশান্ত এলাকা থাকবে না। সাধারণত, পরিষ্কার ঘরের ল্যাম্পগুলি টিয়ারড্রপ আকারে ডিজাইন করা হয় যাতে বায়ুপ্রবাহের উপর ল্যাম্পের প্রভাব কম হয়।

(৩.) দেয়ালের মধ্যে ফাঁক

যখন বিভিন্ন পরিচ্ছন্নতার স্তরের পার্টিশনের মধ্যে বা পার্টিশন এবং সিলিংয়ের মধ্যে ফাঁক থাকে, তখন কম পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা সম্পন্ন এলাকার ধুলো উচ্চ পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা সম্পন্ন পার্শ্ববর্তী এলাকায় স্থানান্তরিত হতে পারে।

(৪)। মেশিন এবং মেঝে বা দেয়ালের মধ্যে দূরত্ব

যদি মেশিন এবং মেঝে বা দেয়ালের মধ্যে ফাঁক খুব কম হয়, তাহলে এটি রিবাউন্ড টার্বুলেন্স সৃষ্টি করবে। অতএব, সরঞ্জাম এবং দেয়ালের মধ্যে একটি ফাঁক রেখে মেশিনটি উঁচু করুন যাতে মেশিনটি সরাসরি মাটিতে স্পর্শ না করে।