ক্লিন রুমে এয়ারফ্লো সংস্থাকে প্রভাবিত করার কারণগুলি কী কী?

আইসি উত্পাদন শিল্পে চিপ ফলনের হার চিপে জমা হওয়া বায়ু কণার আকার এবং সংখ্যার সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সম্পর্কিত। একটি ভাল এয়ারফ্লো সংস্থা ক্লিন রুম থেকে দূরে ধূলিকণা উত্স দ্বারা উত্পন্ন কণাগুলি পরিষ্কার কক্ষের পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করতে নিতে পারে, অর্থাৎ, ক্লিন রুমে এয়ারফ্লো সংস্থা আইসি উত্পাদনের ফলন হারে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। ক্লিন রুমে এয়ারফ্লো সংস্থার নকশাকে নিম্নলিখিত লক্ষ্যগুলি অর্জন করতে হবে: ক্ষতিকারক কণাগুলির ধরে রাখা এড়াতে প্রবাহ ক্ষেত্রের এডি স্রোতকে হ্রাস বা নির্মূল করুন; ক্রস দূষণ রোধে একটি উপযুক্ত ইতিবাচক চাপ গ্রেডিয়েন্ট বজায় রাখুন।

এয়ারফ্লো ফোর্স

ক্লিন রুমের নীতি অনুসারে, কণাগুলিতে অভিনয় করা বাহিনীর মধ্যে গণ শক্তি, আণবিক শক্তি, কণাগুলির মধ্যে আকর্ষণ, এয়ারফ্লো ফোর্স ইত্যাদি অন্তর্ভুক্ত রয়েছে

এয়ারফ্লো ফোর্স: কণাগুলি বহন করার জন্য একটি নির্দিষ্ট প্রবাহ হারের সাথে ডেলিভারি, রিটার্ন এয়ারফ্লো, তাপীয় কনভেকশন এয়ারফ্লো, কৃত্রিম আলোড়ন এবং অন্যান্য বায়ুপ্রবাহের কারণে বায়ুপ্রবাহের বলকে বোঝায়। ক্লিন রুমের পরিবেশের প্রযুক্তিগত নিয়ন্ত্রণের জন্য, এয়ারফ্লো ফোর্স সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ বিষয়।

পরীক্ষাগুলি দেখিয়েছে যে বায়ু প্রবাহের চলাচলে, কণাগুলি প্রায় একই গতিতে বায়ু প্রবাহের চলাচল অনুসরণ করে। বাতাসের কণার অবস্থা বায়ুপ্রবাহ বিতরণ দ্বারা নির্ধারিত হয়। অভ্যন্তরীণ কণাগুলিকে প্রভাবিত করে এমন বায়ু প্রবাহগুলি মূলত অন্তর্ভুক্ত: বায়ু সরবরাহ বায়ু প্রবাহ (প্রাথমিক বায়ু প্রবাহ এবং মাধ্যমিক বায়ু প্রবাহ সহ), বায়ুপ্রবাহ এবং তাপীয় সংশ্লেষ বায়ু প্রবাহ এবং লোকেরা হাঁটার কারণে সৃষ্ট তাপীয় সংশ্লেষ বায়ু প্রবাহ এবং প্রক্রিয়া অপারেশন এবং শিল্প সরঞ্জাম দ্বারা সৃষ্ট বায়ু প্রবাহ। বিভিন্ন বায়ু সরবরাহের পদ্ধতি, গতি ইন্টারফেস, অপারেটর এবং শিল্প সরঞ্জাম এবং পরিষ্কার কক্ষগুলিতে প্ররোচিত ঘটনাগুলি পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতার স্তরকে প্রভাবিত করে এমন সমস্ত কারণ।

এয়ারফ্লো সংস্থাকে প্রভাবিত করার কারণগুলি

1। বায়ু সরবরাহ পদ্ধতির প্রভাব

(1)। বায়ু সরবরাহের গতি

অভিন্ন বায়ু প্রবাহ নিশ্চিত করতে, বায়ু সরবরাহের গতি অবশ্যই একটি একমুখী পরিষ্কার ঘরে অভিন্ন হতে হবে; বায়ু সরবরাহের পৃষ্ঠের ডেড জোনটি অবশ্যই ছোট হতে হবে; এবং উলাপায় চাপ ড্রপও অবশ্যই অভিন্ন হতে হবে।

ইউনিফর্ম বায়ু সরবরাহের গতি: অর্থাৎ, বায়ু প্রবাহের অসমতা 20%এর মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করা হয়।

বায়ু সরবরাহের পৃষ্ঠের কম ডেড জোন: কেবল ইউএলপিএ ফ্রেমের বিমানের অঞ্চলটি হ্রাস করা উচিত নয়, তবে আরও গুরুত্বপূর্ণ, রিডানড্যান্ট ফ্রেমকে সহজ করার জন্য মডুলার এফএফইউ গ্রহণ করা উচিত।

উল্লম্ব একমুখী বায়ু প্রবাহ নিশ্চিত করার জন্য, ফিল্টারটির চাপ ড্রপ নির্বাচনটিও খুব গুরুত্বপূর্ণ, ফিল্টারে চাপের ক্ষতি বিচ্যুত হতে পারে না।

(2)। এফএফইউ সিস্টেম এবং অক্ষীয় প্রবাহ ফ্যান সিস্টেমের মধ্যে তুলনা

এফএফইউ হ'ল একটি এয়ার সাপ্লাই ইউনিট যা একটি ফ্যান এবং ফিল্টার (ইউএলপিএ) সহ। এফএফইউর সেন্ট্রিফুগাল ফ্যান দ্বারা বায়ু চুষে নেওয়ার পরে, গতিশীল চাপটি বায়ু নালীতে স্থির চাপে রূপান্তরিত হয় এবং উলপা দ্বারা সমানভাবে উড়ে যায়। সিলিংয়ের উপর বায়ু সরবরাহের চাপটি নেতিবাচক চাপ, যাতে ফিল্টারটি প্রতিস্থাপন করা হলে কোনও ধুলা পরিষ্কার ঘরে ফাঁস না হয়। পরীক্ষাগুলি দেখিয়েছে যে এফএফইউ সিস্টেমটি বায়ু আউটলেট ইউনিফর্মটি, এয়ারফ্লো সমান্তরালতা এবং বায়ুচলাচল দক্ষতা সূচকের ক্ষেত্রে অক্ষীয় প্রবাহ ফ্যান সিস্টেমের চেয়ে উচ্চতর। এটি কারণ এফএফইউ সিস্টেমের বায়ু প্রবাহ সমান্তরালতা আরও ভাল। এফএফইউ সিস্টেমের ব্যবহার ক্লিন রুমে বায়ু প্রবাহকে আরও ভালভাবে সংগঠিত করতে পারে।

(3)। এফএফইউর নিজস্ব কাঠামোর প্রভাব

এফএফইউ মূলত ভক্ত, ফিল্টার, এয়ারফ্লো গাইড ডিভাইস এবং অন্যান্য উপাদানগুলির সমন্বয়ে গঠিত। অতি-উচ্চ দক্ষতা ফিল্টার ইউএলপিএ হ'ল ক্লিন রুমটি ডিজাইনের প্রয়োজনীয় পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা অর্জন করতে পারে কিনা তার জন্য সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ গ্যারান্টি। ফিল্টারটির উপাদানগুলি প্রবাহ ক্ষেত্রের অভিন্নতার উপরও প্রভাব ফেলবে। ফিল্টার আউটলেটে যখন কোনও মোটা ফিল্টার উপাদান বা ল্যামিনার ফ্লো প্লেট যুক্ত করা হয়, তখন আউটলেট প্রবাহ ক্ষেত্রটি সহজেই অভিন্ন করা যায়।

2। পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতার বিভিন্ন গতির ইন্টারফেসের প্রভাব

একই ক্লিন রুমে, উল্লম্ব একমুখী প্রবাহের কর্মক্ষম অঞ্চল এবং অ-কার্যকারী অঞ্চলের মধ্যে, উলপা আউটলেটে বায়ু গতির পার্থক্যের কারণে, একটি মিশ্র ঘূর্ণি প্রভাব ইন্টারফেসে উত্পন্ন হবে এবং এই ইন্টারফেসটি একটি অশান্ত হয়ে উঠবে বিশেষত উচ্চ বায়ু অশান্তি তীব্রতার সাথে বায়ু প্রবাহ অঞ্চল। কণাগুলি সরঞ্জামের পৃষ্ঠে সংক্রমণ হতে পারে এবং সরঞ্জাম এবং ওয়েফারগুলিকে দূষিত করতে পারে।

3। কর্মী এবং সরঞ্জামের প্রভাব

যখন পরিষ্কার ঘরটি খালি থাকে, তখন ঘরে বায়ু প্রবাহের বৈশিষ্ট্যগুলি সাধারণত ডিজাইনের প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করে। সরঞ্জামগুলি একবার ক্লিন রুমে প্রবেশ করলে, কর্মীরা সরানো এবং পণ্যগুলি সংক্রমণ হয়ে যায়, এয়ার ফ্লো সংস্থার অনিবার্যভাবে বাধা থাকবে। উদাহরণস্বরূপ, সরঞ্জামগুলির প্রসারিত কোণ বা প্রান্তগুলিতে, গ্যাসটি একটি অশান্ত অঞ্চল গঠনের জন্য ডাইভার্ট করা হবে এবং জোনের তরলটি সহজেই গ্যাস দ্বারা বহন করা হয় না, ফলে দূষণের কারণ হয়। একই সময়ে, অবিচ্ছিন্ন ক্রিয়াকলাপের কারণে সরঞ্জামগুলির পৃষ্ঠটি উত্তপ্ত হয়ে উঠবে এবং তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্টটি মেশিনের নিকটে একটি রিফ্লো জোনের কারণ হবে, যা রিফ্লো জোনে কণা জমে বাড়িয়ে তুলবে। একই সময়ে, উচ্চ তাপমাত্রা সহজেই কণাগুলি পালাতে পারে। দ্বৈত প্রভাব সামগ্রিক উল্লম্ব ল্যামিনার পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা নিয়ন্ত্রণে অসুবিধা বাড়িয়ে তোলে। ক্লিন রুমে অপারেটরদের কাছ থেকে ধুলা এই রিফ্লো অঞ্চলগুলিতে ওয়েফারগুলিকে মেনে চলা খুব সহজ।

4 .. রিটার্ন এয়ার ফ্লোরের প্রভাব

যখন মেঝে দিয়ে যাওয়া রিটার্ন বায়ুর প্রতিরোধের আলাদা হয়, তখন একটি চাপের পার্থক্য তৈরি করা হবে, যাতে বায়ু কম প্রতিরোধের দিকে প্রবাহিত হবে এবং অভিন্ন বায়ু প্রবাহ পাওয়া যাবে না। বর্তমান জনপ্রিয় নকশা পদ্ধতি হ'ল এলিভেটেড ফ্লোর ব্যবহার করা। যখন এলিভেটেড ফ্লোরের খোলার হার 10%হয়, ঘরের কাজের উচ্চতায় বায়ু প্রবাহের বেগ সমানভাবে বিতরণ করা যেতে পারে। তদ্ব্যতীত, মেঝেটির দূষণ উত্স হ্রাস করতে পরিষ্কার করার কাজগুলিতে কঠোর মনোযোগ দেওয়া উচিত।

5। আনয়ন ঘটনা

তথাকথিত ইন্ডাকশন ঘটনাটি সেই ঘটনাটিকে বোঝায় যে ইউনিফর্ম প্রবাহের বিপরীত দিকে বায়ু প্রবাহ উত্পন্ন হয় এবং ঘরের মধ্যে উত্পন্ন ধুলা বা সংলগ্ন দূষিত অঞ্চলে ধুলা উত্সাহিত হয়, যাতে ধূলিকণা হয় চিপ দূষিত করতে পারে। নিম্নলিখিতগুলি সম্ভাব্য আনয়ন ঘটনা:

(1)। অন্ধ প্লেট

উল্লম্ব একমুখী প্রবাহ সহ একটি পরিষ্কার কক্ষে, প্রাচীরের জয়েন্টগুলির কারণে, সাধারণত বড় অন্ধ প্লেট রয়েছে যা স্থানীয় রিটার্ন প্রবাহে অশান্তি সৃষ্টি করবে।

(2)। প্রদীপ

ক্লিন রুমে আলো ফিক্সচারগুলি আরও বেশি প্রভাব ফেলবে। যেহেতু ফ্লুরোসেন্ট ল্যাম্পগুলির উত্তাপের ফলে বায়ু প্রবাহ বাড়তে থাকে, তাই ফ্লুরোসেন্ট ল্যাম্পের নীচে কোনও অশান্ত অঞ্চল থাকবে না। সাধারণত, ক্লিন রুমের প্রদীপগুলি এয়ারফ্লো সংস্থার প্রদীপগুলির প্রভাব হ্রাস করার জন্য একটি টিয়ারড্রপ আকারে ডিজাইন করা হয়েছে।

(৩) দেয়ালগুলির মধ্যে ফাঁক

যখন বিভিন্ন পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতার স্তর সহ পার্টিশনগুলির মধ্যে বা পার্টিশন এবং সিলিংয়ের মধ্যে ব্যবধান থাকে, স্বল্প পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা সহ অঞ্চল থেকে ধুলা উচ্চ পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা সহ সংলগ্ন অঞ্চলে স্থানান্তরিত করা যেতে পারে।

(4)। মেশিন এবং মেঝে বা প্রাচীরের মধ্যে দূরত্ব

যদি মেশিন এবং মেঝে বা প্রাচীরের মধ্যে ব্যবধানটি খুব ছোট হয় তবে এটি প্রত্যাবর্তনের অশান্তি সৃষ্টি করবে। অতএব, সরঞ্জাম এবং প্রাচীরের মধ্যে একটি ফাঁক ছেড়ে দিন এবং মেশিনটি সরাসরি মাটিতে স্পর্শ করতে এড়াতে মেশিনটি বাড়ান।